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山東大學2022年12月政府采購意向-物理氣相沉積設備-電子工業(yè)專用生產設備-預算金額1800.000000萬元(人民幣)

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    2022-12-08
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正文內容

物理氣相沉積設備
項目所在采購意向：山東大學2022年12月政府采購意向
采購單位：山東大學
采購項目名稱：物理氣相沉積設備
預算金額：1800.*萬元(人民幣)
采購品目：
電子工業(yè)專用生產設備
采購需求概況：
采購物理氣相沉積設備1臺，應用于Ni、Ti、Al、Ag四種金屬的沉積，需各個金屬配備獨立腔室以及單獨的預處理腔室，四種金屬薄膜在8英寸晶圓上的片內均一性能夠達到5%，滿足碳化硅功率MOSFET器件制備的金屬鍍膜需求。
預計采購時間：2022-12
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。

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