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清華大學2022年3月政府意向-等離子體刻蝕機-擬8英寸等離子體刻蝕機一臺，可以高質(zhì)量完成絕緣體上鈮酸鋰招標預告

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等離子體刻蝕機
(略) 在采購意向： (略) * 年3月政府采購意向
采購單位： (略)
采購項目名稱：等離子體刻蝕機
預算金額： * . *** 萬元(人民幣)
采購品目：
A *** 電子工業(yè)專用生產(chǎn)設備
采購需求概況：
擬采購8英寸等離子體刻蝕機一臺，可以高質(zhì)量完成絕緣體上鈮酸鋰調(diào)制器的加工，主要規(guī)格參數(shù)要求：反應腔室為鋁合金材質(zhì)，帶觀察窗口，正下方抽氣，預留OES和法拉第清洗接口，預留傳輸系統(tǒng)、上射頻系統(tǒng)升級接口；真空模塊分子泵≥ * L/s，干泵≥ * m3/h；電源模塊至少13.56MHz，1KW；載片臺至少8寸下電極；反應氣路標配6路和氣柜；包含軟件和控制系統(tǒng)；上射頻系統(tǒng)電源至少13.56MHz，≥1kw；冷卻系統(tǒng)溫度范圍至少溫度范圍-10~ * ℃。
預計采購時間： ***

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