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基本信息:
申購明細:
序號
1
采購內容
等離子體刻蝕清洗機
數量
1臺
預算單價
品牌
科晶
型號
PCE- * W
規格參數
詳細參數和配置: (1)射頻功率:0- * W; (2)總功率:1.5 KW; (3)電源:AC * V * / * Hz;(4)頻率: * . * MHz;(5)等離子腔體:8.5”0.D × 8.2”I.D × * .4”L高純石英腔體;鋁制折疊式法蘭真空密封; (6)控制面板: (略) 安裝0- * mL/min質量流量計,精確控制進氣流量;(7)真空泵:抽氣速率大于4L/s的真空泵;極限真空度 * mTorr;雙級真空泵VRD- * ;(8) 等離子腔體中通入多種氣體;(9)產品尺寸: * mm (L) × * mm (W) × * mm (H);( * ) 其他配件:不銹鋼波紋管F- * * * mm;高真空手動擋板閥KF- * ;卡箍KF * 。
質保及售后服務
按行業標準提供服務; (略) 提供本地化服務; (略) 家授權書