序號

設(shè)備名稱

詳 細(xì) 技 術(shù) 指 標(biāo) 及 參 數(shù)

單位

數(shù)量

備注

1

微納米原位力學(xué)性能測試系統(tǒng)

1. 傳感器：

1.1 采用高精度的 * 板電容傳感器實(shí)現(xiàn)載荷監(jiān)測、驅(qū)動以及位移的監(jiān)測、驅(qū)動；該系統(tǒng)能同時提供定量的載荷和位移的數(shù)據(jù)和同步觀察材料的變形。

 *1.2最大載荷: ≥ * mN

1.3縱向載荷力分辨率: ≤3 nN

1.4荷載背景噪音：＜5 nN

1.5最大壓入深度： * μm

1.6位移分辨率: ≤0. * nm

2. 高精密定位平臺：

2.1 X-Y-Z 方向平臺可移動范圍: ≥ 3mm×3mm×3mm

2.2 X-Y-Z方向步長分辨率: ≤ * nm

3. 專用數(shù)據(jù)采集控制單元：

3.1反饋控制組件：具備連續(xù)載荷、位移數(shù)據(jù)隨時間變化的實(shí)時記錄數(shù)據(jù)功能

3.2閉環(huán)控制數(shù)據(jù)的采集率：≥ * 0 points/sec

4. 原位定量拉伸模塊參數(shù)

 4.1采用壓轉(zhuǎn)拉的附件可以實(shí)現(xiàn)原位定量拉伸功能；

 4.2同步觀察材料的拉伸過程和定量應(yīng)力-應(yīng)變曲線

5.  配件：

  5.1  * μm平頭壓針：錐頂角 * °金剛石平頭壓針，平頭面直徑 * μm

  5.2 專用壓針拆卸工具及熔融石英標(biāo)樣（FQ）等

6.  測試軟件參數(shù)

  6.1具備連續(xù)的載荷、位移數(shù)據(jù)隨時間變化的實(shí)時數(shù)據(jù)的功能；

  6.2具備集成SEM 視頻實(shí)時捕獲功能；

  6.3具備主動阻尼震動功能，用以減少真空環(huán)境中探針移動過程中的顫動現(xiàn)象；

  6.4具備載荷控制功能；

  6.5具備位移控制功能。

7. 配置電腦1臺。配置：CPU英特爾 酷睿i7、頻率3.2GHz,內(nèi)存8GB，硬盤 * GB+1TB,獨(dú)立顯卡、顯存6GB，DVD刻錄機(jī)， * 寸液晶顯示器， (略) (略) 卡。

8. 配置鹵族測量裝置 1臺。

溫度補(bǔ)償功能（0～ * ℃）。pCl：0. * ～6. *  Cl-： * .4g/L～0. * mg/L。

測量級別：0. * 級，誤差：   mV：0.1％（FS）；穩(wěn)定性：±0. *

臺

1

允許進(jìn)口（與場發(fā)射掃描電子顯微鏡配合使用）