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| 等離子去膠機 | |
| (略) 在采購意向： | (略) * 年 * 月政府采購意向 |
| 采購單位： | (略) |
| 采購項目名稱： | 等離子去膠機 |
| 預算金額： | * . *** 萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A *** 電子工業專用生產設備 |
| 采購需求概況： | 1.名稱：等離子去膠機2.功能：用于實現半導體MEMS制造流程中干法除膠工藝，應具備微波等離子清洗能力，刻蝕鈍化層能力，用于干法去除光刻膠、刻蝕鈍化層和鍵合、打線前的表面清潔和活化；3.數量：1臺；4.晶圓尺寸：8英寸兼容6英寸，Open Cassette |
| 預計采購時間： | *** |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排， (略) 和采購文件為準。
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