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電子束曝光系統招標預告

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本課題的兩個指標“基于三維拓撲絕緣體的拓撲量子器件”和“基于二維電子體系邊緣態的拓撲量子器件”均涉及到器件制備必須依靠電子束曝光系統才有開展實驗的可能。

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