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技術規格及參數

1. 配單筒金相顯微鏡系統
1.1氣動移動支架：可以X/Y軸線性移動；移動范圍： * mm× * mm。Z方向氣動上升 * mm，精調范圍（調焦） * mm。
1.2 單筒金相顯微鏡大變倍比無極 * X變倍, (略) 5. * *3. * mm，工作距離 * mm，小于2.5um的光學分辨率；
1.3 包含HDMI高清CCD。2/3’感光cmos，提供無線控制傳輸，具有影像量測凍結比對存儲功能
1.4 包含LED同軸光源照明。
1.5具備顯微鏡橋接口， (略) 更換、升級顯微鏡。
2. 探針臺主機
2.1 針座放置平臺（Platen）可調節位移≥ * mm，
2.2針座放置平臺有 * 檔調節微調高度及緩降設計（防止更換樣品時，針尖與樣品劇烈碰撞），平臺 * 擋微調高度：0- * μm-3mm。標配可細分 * 、 * 、 * um抬升（滿足高倍率顯微鏡小PAD要求）,并且具有機械和電氣互鎖保護設計和前置面板LED指示燈警示
2.3 最多可容納8組DC直流針座和4組RF射頻針座。
2.4提供微屏蔽系統，針對電磁屏蔽、光屏蔽以及交流低噪屏蔽等功能，同時具有高低溫環境屏蔽能力
3. 樣品臺
3.1 樣品臺基座提供氣動裝載和分離樣品，同時具有微調功能，前置面板操作
3.2 具有氣浮式樣品臺，可 * 鍵 * °全量程大范圍快速移動。同時提供真空底座吸附保證穩定可靠
3.3 樣品臺可微調角度±5°。分辨率0. * 度，真空吸槽范圍直徑 3, * , * , * , * , * , * , * , * mm，可多區域控制。
3.4 X/Y快速平臺移動范圍≥ * mm× * mm；微米級精細移動范圍≥ * mm× * mm，精度＜1μm，Z軸氣動快速升降 * mm， (略) 程5mm，精度＜1um；
3.5 前門面板設計具有安全鎖定INTER LOCK設計，滿足高壓已經未來高低溫設計
3.6樣品臺可以模塊化升級到高溫樣品臺或者高低溫樣品臺， (略) 改造更換，并且高低溫具有多檔選擇（- * 、- * 、- * 、 * 、 * 、 * 攝氏度）。
4. 配高精度探針座
4.1 自帶4組磁性吸附的直流探針座。
4.2 直流針座X/Y/Z 螺桿分辨率 ≤ * μm，在X/Y/ (略) 程≥ * mm。
4.3 直流針座微調精度＜3μm。
4.4 高壓測試針桿支持3kv高壓測試，keisight * 軸接頭，采用德國PEEK雙層絕緣防護設計、L型設計無干擾點針，探針夾持棘爪鍍金（提供 * 、 * 、 * °探針夾持，滿足不同點針角度要求）， * KV
4.5chuck 樣 (略) 加電極測試，高壓 * KV和脈沖 * A,配置高壓SHV線纜轉HV TRIAXIAL，通用keisight高壓儀表，樣品臺可加激勵偏置（@ * V Kelvin Triax (f) ，常溫漏電小于 * fA：漏電值 @ * V < 5 pA at * °C
5. 整體機臺具有ISO * 1、CE 、TUV認證
6. 低噪聲屏蔽系統：
EMI 屏蔽 > * dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰減 ≥ * dB
光譜噪聲基底 ≤ - * dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
系統交流電噪聲 ≤ * mVp-p (≤ 1 GHz)
支持高低溫環境控制測試
7. 配備主動式氣浮隔震臺，減震頻率3-5Hz，效率高達 * %以上，集成操作扶手，防止操作時觸碰到隔震臺臺面，配合進口氣浮傳感器，不銹鋼光學面板。
8. 整套系統包含 * 套壓縮空氣主機和真空泵主機

售后及質保要求

售后服務：
1.原廠技術工程師提供服務
2.提供設備報修電話及聯系人，招標人報修后，1小時內響應， * 小時內 (略) 維護，并在 * 小時內解決問題，如在規定時間內不能解決設備故障，應提供相同檔次、 (略) 人代用
質保期：驗收合格后免費質保3年