外置磁場增強等離子體氣相沉積薄膜機 | |
項目所在采購意向: | (略) 蘭州化學物理研究所2025年7至12月政府采購意向 |
采購單位: | (略) 蘭州化學物理研究所 |
采購項目名稱: | 外置磁場增強等離子體氣相沉積薄膜機 |
預算金額: | 247.*萬元(人民幣) |
采購品目: | A*電氣物理設備 |
采購需求概況 : | 以磁控濺射技術為核心,通過永磁體與電磁鐵線圈協同構建非平衡閉合磁場結構,實現高離化率和等離子體環境下的高效濺射沉積,滿足高致密、低缺陷、超高均勻性鍍膜工藝開發的需求。 |
預計采購時間: | 2025-08 |
備注: |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。
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“銷邦招標”